半導體

SW221 6"/8" 晶圓檢測設備

SW221是一台高精度的黃光制程光學檢測設備(ADI),提供巨觀和微觀的光學檢測與量測,適合於前、後段制程與RD研發階段等各種生產環境。升產能之利器。

Key Features

  • 高精度晶圓黃光制程檢測量測設備(ADI/AEI)
  • 巨觀檢測箭影、光阻殘留、曝光異常
  • 超微觀檢測Cell異常
  • 量測CDAA、CD bar、光罩曝光偏移以及版本異常