SW232 (二光) Frame Wafer Inspection
SW232(二光)晶圓框架檢測設備主要用於【晶圓製造與封裝過程中的瑕疵檢測】。它能夠檢測晶圓上的異物、劃痕、殘膠、圖形變形等缺陷,確保產品品質符合半導體製程的高標準。
Wafer正面與背面檢測+量測一體化設計可選配黑白精度 0.45 um/0.9um/ 1.5um/ 2.25um/ 4.5um/ 20um
可選配彩色精度 0.07um/0.17um/ 0.34um/ 0.7um
Bright Field / Dark Field / PL螢光/ NIR2>
精准晶粒定位系統
專利全平面多孔陶瓷載台
支援Off Line人工覆檢/AI覆檢
支援Off Line編輯 Recipe/ Recipe Server
支援 SECS/GEM / E84 AGV /天車
21+ 項晶片線路缺陷檢測
18+ 項切割道缺陷檢測
14+ 項探針痕缺陷檢測完整