半導體

SW232 (二光) Frame Wafer Inspection

SW232(二光)晶圓框架檢測設備主要用於【晶圓製造與封裝過程中的瑕疵檢測】。它能夠檢測晶圓上的異物、劃痕、殘膠、圖形變形等缺陷,確保產品品質符合半導體製程的高標準。

主要特點

  • Wafer正面與背面檢測+量測一體化設計
  • 可選配黑白精度 0.45 um/0.9um/ 1.5um/ 2.25um/ 4.5um/ 20um
  • 可選配彩色精度 0.07um/0.17um/ 0.34um/ 0.7um
  • Bright Field / Dark Field / PL螢光/ NIR
  • 精准晶粒定位系統
  • 專利全平面多孔陶瓷載台
  • 支援Off Line人工覆檢/AI覆檢
  • 支援Off Line編輯 Recipe/ Recipe Server
  • 支援 SECS/GEM / E84 AGV /天車
  • 檢測項目:

  • 21+ 項晶片線路缺陷檢測
  • 18+ 項切割道缺陷檢測
  • 14+ 項探針痕缺陷檢測完整