自動光學檢測(英語:Automated Optical Inspection,簡稱AOI),為高速高精度光學影像檢測系統,運用機器視覺做為檢測標準技術,作為改良傳統上以人力使用光學儀器進行檢測的缺點,應用層面包括從高科技產業之研發、製造品管,例如晶圓、晶粒、光罩、橡膠環等產品。
SW231為一台半導體中段製程所設計的自動化晶圓光學檢測設備,搭配T1100傳輸設備可實踐8吋到12吋晶圓檢測,實現高速大量的生產效率。
SS250為一台提供晶粒封裝各種缺陷檢測的半導體設備,特別是記憶體封裝堆疊之固晶打線缺陷,為封裝設備廠(OSAT)提升產能之利器。
OC705為針對DFB/EML晶片所推出的四面檢測分選設備,豐富多樣的缺陷檢測以及高精度檢測端面脊柱及發光條,為良率的最佳守護員。
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