發光二極體與矽電

LR220 LED 2D晶片檢測設備

LR220為提供檢測LED晶片上各種缺陷的2D檢測設備,彩色檢測技術提高檢測效率,彈性化的傳輸載具實踐2~6吋晶圓皆可檢測。

Key Features

  • 2/4吋、4/6吋晶圓共用
  • 支援彩色檢測
  • 一般型、覆晶、垂直型產品皆可共用
  • 最大可檢180mil晶片、RGBA產品共用
  • 表面、電極、切割道、圖型等全自動全檢
  • 十年實績、熱銷機種